Precizna obrada se razvija sa nivoa mikrona do nivoa nanometara, a ultra preciznost obrada postigla je 10 nanometra dimenzionalna tačnost i 1 hrapavost na nanometrom. Kompozitne tehnologije kao što su poluprištetna abrazivna obrada, u kombinaciji sa mehaničkim brušenjem i hemijskim akcijama, postižu visoko preciznu ravnost u obradi integrisanog kruga. U budućnosti će fokus biti na razvoju tehnologija poput višeenergetskih polja kompozitnih obrada i inteligentnih sustava kontrole procesa kako bi se zadovoljili precizni zahtjevi mikro mehaničke proizvodnje i optičkih komponenti.
